primero se valida experimentalmente un modelo CPUT
multidimensional que incorpora un modelo de matriz CMUT de señal grande luego se utiliza para estudiar cómo el comportamiento multimodo de las matrices
de membranas afecta la transferencia de energía. Los resultados revelan si los
modos de matriz de orden superior son beneficiosos para mejorar la eficiencia de
transferencia de energía y contribuirán a las pautas para un diseño óptimo de
CPUT
Diagrama de bloques de Simulink de CPUT con modelo de matriz BEM. Las entradas son la intensidad del forzado ultrasónico y, opcionalmente, una polarización de CC. La salida de interés es la potencia a través de la carga Rs. [1
parametros
Para validar el modelo BEM CPUT, se realizó un experimento de transferencia de energía utilizando una matriz de 36 x 10 de 70 x 70 µm. membranas para obtener datos de eficiencia versus resistencia de carga a una frecuencia de forzado de 2,4 MHz..Se diseñaron dos conjuntos de CPUT para alcanzar frecuencias
operativas en el rango de 300 kHz-1,5 MHz a través de diferentes medios
El primer diseño es una matriz de 10 x 10 de membranas
de 70 x 70 µm con una frecuencia de membrana única de 1,01 MHz. Cada
membrana consta de una membrana de nitruro de silicio de 500 nm y un
electrodo de plata de 400 nm, junto con una carga de masa de oro de 23 x
23 x 1 µm para aumentar el factor de calidad mecánica y forzar a las
membranas a operar en su primer modo. Se utilizó el análisis de elementos
finitos en COMSOL para iterar y optimizar el espesor del electrodo y el
ancho de la carga de masa para lograr una frecuencia de membrana de 1
MHz. El segundo diseño es una matriz de 16 x 16 de membranas de 40 x
40 µm con una frecuencia de modo de matriz (a diferencia de una sola
membrana) de alrededor de 1 MHz. Para ello, se determinó que la frecuencia
de la membrana única debía estar cercana a los 3 MHz; por lo tanto, la
dimensión de la membrana se redujo a 40 µm. El tamaño de la matriz se
aumentó de modo que el área general permaneció aproximadamente igual
a la matriz de 10 x 10; esto mantiene la impedancia de radiación general
aproximadamente igual entre los dos diseños. Entre el diseño de
baja y alta frecuencia, la eficiencia de transferencia de energía puede alcanzar
hasta el 25%
Observando la CPUT de baja frecuencia, con una intensidad de entrada de 75 W/m2, 66,6 µW y 0,45 V CC, se aprovecha una carga de 3000 Ω con una eficiencia del 21,3 % a 300 kHz. En las mismas condiciones de entrada, el funcionamiento a 475 kHz sólo proporciona 8,2 µW (0,07 V CC) en una carga de 600 Ω con una eficiencia del 6,1 %
Observando la CPUT de baja frecuencia, con una intensidad de entrada de 75 W/m2, 66,6 µW y 0,45 V CC, se aprovecha una carga de 3000 Ω con una eficiencia del 21,3 % a 300 kHz. En las mismas condiciones de entrada, el funcionamiento a 475 kHz sólo proporciona 8,2 µW (0,07 V CC) en una carga de 600 Ω con una eficiencia del 6,1 %
, la intensidad de entrada se puede aumentar más allá de 160 W/m2 en
el modo de 300 kHz sin una disminución significativa de la eficiencia, mientras
que en el modo de 475 kHz, la eficiencia comienza a disminuir una vez que la
intensidad de entrada aumenta más allá de 70 W/m2
el segundo modo de matriz de la matriz CPUT de alta
frecuencia proporciona una mejor operación de transferencia de energía. A 1,55
MHz, se pueden aprovechar 92,5 µW en una carga de 140 Ω (0,11 V CC) con
una eficiencia del 22,4 %, mientras que el primer modo de matriz solo proporciona
22,0 µW en una carga de 160 Ω (0,06 V CC) con una eficiencia del 11,3 %
ventaja de las bobinas
. Puede funcionar mejor a mayores profundidades de penetración, proporcionar más potencia total debido a límites de seguridad más altos en el tejido y tener factores de forma más pequeños que las bobinas de inducciónBibliografia
[1] C. Wei, S. Surappa, and F. L. Degertekin, “Experimental verification and design guidelines for efficient ultrasonic power transfer using capacitive parametric ultrasonic transducers,” in IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS, IEEE Computer Society, Sep. 2020. doi: 10.1109/IUS46767.2020.9251408.
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